白色干渉計

平面形状の粗さ測定に使用されます。

白色干渉計の写真

対物レンズ 1.5X, 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X で0.75X~100Xのズーム。
視野倍率 0.55X, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X
測定アレイ 640 x 480, ノンインタレース、 任意の1392 x 1040カメラ
光源 長寿命緑色&白色LED
垂直解像度 <0.1nm RMS
再現性 0.05nm
機能 表面粗さ測定

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