白色干渉計
平面形状の粗さ測定に使用されます。
対物レンズ | 1.5X, 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X で0.75X~100Xのズーム。 |
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視野倍率 | 0.55X, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X |
測定アレイ | 640 x 480, ノンインタレース、 任意の1392 x 1040カメラ |
光源 | 長寿命緑色&白色LED |
垂直解像度 | <0.1nm RMS |
再現性 | 0.05nm |
機能 | 表面粗さ測定 |
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